金属(金、铬、铝、铜、镍、Pt)薄膜,二氧化硅和氮化硅通过溅射、蒸发和CVD
胶涂层,接触,曝光,显影,Lift off 过程
铜、镍、金焊接互连和晶圆键合
干法和湿法刻蚀
融合、阳极、共晶、聚酰亚胺聚合物键合
硅片和玻璃切片
硅片研磨和CMP抛光